HORIBA 一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀
簡(jiǎn)要描述：HORIBA 一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀是新型的全自動(dòng)薄膜測(cè)量分析工具。采用工業(yè)化設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單，可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動(dòng)測(cè)量和分析，并輸出分析報(bào)告。是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。
產(chǎn)品型號(hào)：Auto SE- 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間：2023-08-22
- 訪 問(wèn) 量：1971
產(chǎn)品詳情
HORIBA 一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀的主要特點(diǎn)
1. 液晶調(diào)制技術(shù)，無(wú)機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)部件，重復(fù)性，信噪比高
2. 技術(shù)成像系技術(shù)，所有樣品均可成像，對(duì)于透明樣品,自動(dòng)去除樣品的背反射信號(hào),使得數(shù)據(jù)分析更簡(jiǎn)單.
3. 反射式微光斑，覆蓋全譜段，利于非均勻樣品圖案化樣品測(cè)試
4. 全自動(dòng)集成度高，安裝維護(hù)簡(jiǎn)便
5. 一鍵式操作軟件，快速簡(jiǎn)單
6. 自動(dòng)MAPPING掃描，分析樣品鍍膜均勻性
HORIBA 一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀的技術(shù)參數(shù)
1. 光譜范圍：450-1000 nm
2. 多種微光斑自動(dòng)選擇
3. 光斑可視技術(shù)，可觀測(cè)任何樣品表面
4. 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
5. 70度角入射
6. CCD探測(cè)器
