光學膜厚測量儀的原理和產(chǎn)品特性介紹
2019-08-27
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光學膜厚測量儀的特點是非接觸, 非破壞方式測量,無需樣品的前處理,軟件支持Windows操作系統(tǒng)等。光學薄膜測厚儀是使用可視光測量晶圓、玻璃等基材上形成的氧化膜,氮化膜,光致抗蝕劑等非金屬薄膜厚度的儀器。
光學膜厚測量儀測量原理如下:在測量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可視光,這時光的一部分在膜的表面反射,另一部分透進薄膜,然后在膜與底層 (晶圓或玻璃)之間的界面反射。這時薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。光學薄膜測厚儀就是利用這種干涉現(xiàn)象來測量薄膜厚度的儀器。
儀器的光源使用鎢絲燈,波長范圍是400 nm~800 nm。從ST2000到ST7000使用這種原理,測量面積的直徑大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作為K-MAC (株) 主要的產(chǎn)品之一,有影像處理的功能,是超越一般薄膜厚度測量儀器的新概念上的厚度測量儀器。測量面積的zui小直徑為0.2μm,遠超過一般厚度測量儀器的測量jixian (4μm)。順次測量數(shù)十個點才能得到的厚度地圖也可一次測量得到,使速度和度都大大提高。
光學膜厚測量儀特性:
a.測量膜厚和折射率,膜厚重復精度達1納米,折射率重復精度達0.01;
b.有配氣浮平臺便于移動大片玻璃;
c.質(zhì)量控制,生產(chǎn)過程控制;
d.用于檢測太陽能AR減反膜玻璃生產(chǎn)線中整片玻璃的在線檢測或離線抽檢。
2.光學膜厚測量儀AR2 –ONLINE配套軟件特性:
a.菜單管理;
b.實時在線或離線抽檢監(jiān)控和歷史數(shù)據(jù)界面;
c.輸出至SQL服務器;小型內(nèi)置式SQL;
d.光學膜厚測量儀可根據(jù)客戶要求定制界面。