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- P-17KLA 探針式臺階儀
KLA P-17 探針式臺階儀是P系列探針式臺階儀的產(chǎn)品。該系統(tǒng)具備可編程掃描平臺、低噪聲電子分辨率，垂直范圍內實現(xiàn)高分辨率掃描，能夠覆蓋樣品表面整個區(qū)域。KLA P-17 探針式臺階儀的優(yōu)點包括200mm掃描平臺，可以在無需拼接的情況下測量整個基片。UltraLite傳感器組件結合了線性垂直測量和恒定力控制，可測量各種材料和地形。
- 型號：P-17
- 更新日期：2025-06-25 ￥面議
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- D-600KLA 探針式表面輪廓儀
KLA 探針式表面輪廓儀采用光學杠桿傳感器技術提供高分辨率、較大的高度測量范圍和準確的微力控制。探針的接觸式測量技術的優(yōu)點是直接測量，與材料特性無關。多種力度調節(jié)和探針尺寸選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測量由材料結構改變引起的粗糙度和應力變化。
- 型號：D-600
- 更新日期：2025-09-12 ￥面議
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- D-500KLA 探針式表面輪廓儀
KLA D500 探針式表面輪廓儀的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率、較大的高度測量范圍和準確的微力控制。探針的接觸式測量技術的優(yōu)點是直接測量，與材料特性無關。多種力度調節(jié)和探針尺寸選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測量由材料結構改變引起的粗糙度和應力變化。
- 型號：D-500
- 更新日期：2025-06-25 ￥面議
